micro-clectromechanical systems

微电子机械系统（ＭＥＭＳ）是一门把计算机和微型机械设备如传感器、电子管、齿轮、镜子和前襟半导体芯片的制动器等结合起来的技术。美国加利佛尼亚洲的未来协会的Paul Saffo相信微电子机械系统或他称为模拟计算的东西将成为“未来十年的基础的技术”。微电子机械系统有时也叫智能物质。　　

微电子机械系统已经被用于汽车气囊的加速计。他们以较低的成本替换了可靠性低一些的设备，并且承诺能够根据减速的感觉而且能够根据所保护人的体积大小来充气。基本上，一个微电子机械系统设备包含了一块小硅片芯片上的微电路，一些机械设备像镜像和传感器被植入其中。潜在的，这种芯片能够以低成本大量制造，成本效益好。　　

现在可以使用或者正在研究的微电子机械系统是：　　

能够被包含在快信包裹中以用来连续追踪和感觉到在途中处理的包裹的全球定位系统传感器。　　

植入机翼机构中的传感器，这样机翼能够感觉气流并对其作出反应，改变机翼表面阻力；有效的创造出许多微小的副翼。　　

光学开关设备，能够以亿分之二秒的开关速度在不同路径开关光信号。　　

传感器驱动的制冷制热系统，能极大地改善节能效果　　

嵌入式传感器的建筑支持，可以改变基于大气压力感应的材料的适应性　　

Saffo区分了传感受动器型微机（他称为“MEMS”）和包含齿轮、镜像、电子管和其它部分的微型设备（他称为“微型机械”）。　　

对为电子机械系统的很多支持来自美国国防部高级研究计划署电子技术研发办公室。